Zeiss RASTERELEKTRONENMIKROSKOP


  • Zuständige Person: Prof. Dr. Oliver Diwald

  • Funktionsweise:

Das Feldemissions-Rasterelektronenmikroskop (FE-REM) kann sowohl anorganische als auch organische Probenstrukturen mit hoher Auflösung abbilden. Das Ladungskompensationssystem des Mikroskops ermöglicht darüber hinaus auch die Abbildung von nicht-leitenden Proben, ohne diese vorher mit leitfähigem Material beschichten zu müssen.
Mit einer Vielzahl von Analysemöglichkeiten wie Sekundär- und Rückstreuelektronen-Abbildung, energiedispersiver Röntgenspektroskopie, Electron Back Scattered Diffraction, Kathodolumineszenz, Mikro-Röntgenfluoreszenz-Spektroskopie, der Electron-Beam-Induced Current- Methode und Möglichkeiten zur integrierten Mikro-Leitfähigkeitsmessungen ist dieses FE-REM einzigartig.
 Core-facility