SPUTTERANLAGE CLUSTEX 100 M


  • Zuständige Person: Prof. Dr. Oliver Diwald

  • Funktionsweise: Die Cluster-Sputteranlage dient zur Abscheidung von funktionalen Dünnschichten unter hochreinen Bedingungen. Die Apparatur besteht aus einer Schleusenkammer, einer Kammer zur Abscheidung von Metallschichten bzw. von transparenten leitenden Oxidschichten, einer Kammer zur Abscheidung von Sulfid-Schichten und einer Prozesssteuereinheit.

 Core-facility